セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE

  • セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE 製品画像
  • セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE 製品図面
  • セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE 製品規格
セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE
■特長
・カバーキャップ SCAP とカバーキャップ用ボルト SNCPSを組み合わせて使用してください。
・真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
・SCAP はアルミ合金製とセラミック製を標準化。
【SCAP-AL】 アルミ合金製
【SCAP-CE】 セラミック製
・ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。

■用途
・成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置



【注意】現品は商品画像と色が異なる場合がございます。

表面処理 呼び
サイズ 商品の有無
SCAP-3-CE (M3 p=0.5)(1個入) SCAP-3-CE (M3 p=0.5)(1個入)
SCAP-4-CE (M4 p=0.7)(1個入) SCAP-4-CE (M4 p=0.7)(1個入)
SCAP-5-CE (M5 p=0.8)(1個入) SCAP-5-CE (M5 p=0.8)(1個入)
SCAP-6-CE (M6 p=1.0)(1個入) SCAP-6-CE (M6 p=1.0)(1個入)
SCAP-8-CE (M8 p=1.25)(1個入) SCAP-8-CE (M8 p=1.25)(1個入)
SCAP-10-CE (M10 p=1.5)(1個入) SCAP-10-CE (M10 p=1.5)(1個入)
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